TM-02型膜厚测量仪，采用了台式设计，可以替代四探针在IC制作中的应用。该测量仪通过非接触式的方式进行厚度测量，采用高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻零机构，可适用于多种尺寸材料的测量，具有测量速度快、重复性好、对样品无损伤，操作便捷等特点。